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                新柯隆镀膜机配置概览

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                发表于 2017-10-28 11:00:59 | 显示全部楼层 |阅读模式
                新柯隆镀膜机配置概览


                1 蒸发源:

                电子枪:JEOL(稳定,价格贵,扫描光斑为方形)

                (电压:6KV,10KV;电源:6KW,10KW;电子枪:270 ,180 度;扫描控制器∩可选)

                PLSAMATEC(整流二极陰險狡詐管易坏,扫描光斑☆为圆形)

                ORIGIN(便宜,简单稳定,只有单枪 180 度一而日本忍者种型号)


                阻蒸:新▲柯隆自制(6KW 单坩埚,10KW 双坩埚)卤素灯阻蒸(只用于蒸发防水膜)

                离子源:新柯★隆自制

                NIS-120 :口径 120mm,最高电压 1000V,电流 550A,阴极为钨丝

                NIS-175 :口径 175mm,最高电压 1200V,电流 1200A,空心阴极

                霍尔源,仅在 VISION-1500 型上使用。离子源给气:HORIBA 质量∮流量计

                2 真空机构:

                低真空泵:EDWARDS E2W275油泵配EH1200罗茨泵(也有用GV160干泵替换E2W275

                油泵的)(泵油每三个月更换一次,)

                樫山 MU1203 型干泵(感觉比 EDWORDS 易发生故障)


                高真空泵:新ζ柯隆自制油扩散泵(使用 LION-S 油,因为无温度监控,故不建议替换成其他品牌◥油)(油每六个月更换一次,泵没 1 年维护⊙一次)

                爱发科低温泵

                EDWORDS、岛津、大阪真〒空的分子泵

                冷冻机:POLYCOLDMAXCOOLTELMARK

                真空计:佳能爱内华电离真空计 眼中精光閃爍,SMC 皮拉尼真空计

                APC 自动压力半仙也都驚異控制:PCU-2100,INFICON VGC-401 潘宁真空♀计

                新柯我呸隆自制主阀及低阀,辅助阀(气缸为 SMC 特制品)(密封圈每年更换一次)

                开度可调慢抽↘气、慢泄气阀(SMC 特制品,专供新柯隆)


                file:///C:\Users\ADMINI~1\AppData\Local\Temp\ksohtml\wps72D0.tmp.png
                3 动作机构:

                补正板〇机构:新柯隆自制(密封圈每年更换一次,速度▃每年检查一次)

                伞架旋转机爪子上散發著幽幽黑光构:新柯隆自制(磁流々体密封约 5 年更换一次)

                坩埚盘旋转机构:新柯隆自制(点状坩埚及环形坩埚)

                蒸发源挡板机构:新柯隆自制(挡板位置和速度每年检查一◥次)

                4 加热机构:

                加热丝加鏡面上热:墙壁加热,镀〓膜伞加热,光控加热(温度探头固定需每年检今天找你們來商量應付對策查一次)

                卤素灯加热:主要用于镀膜伞加热,最高不到 85 度。(卤素灯为耗材)

                5 膜厚控制╱单元:

                水晶控制器:INFICON XTC-3(S)(水晶旋转每年检查一次)

                光控:系统为≡新柯隆 SDC 系统(OPM-Z1  分为投光器电源,投光器,光纤,监控玻璃,受光器,OPM-Z1PC-2 电脑几个部
                分。由于连接使用的是 RS-232 接口,不支持热插拔,任何连接或者动作后,请重启 OPM-Z1 PC-2

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